2021年3月3-4日我公司參與的國家重點研發計劃項目“大規格稀有/稀貴金屬靶材制造技術”課題績效評價會議在北京成功召開,項目課題順利通過專家評審。
會議根據《國家重點研發計劃項目綜合績效評價工作規范》及科學技術部高技術研究發展中心有關規定對項目下設四個課題進行績效評價工作,討論形成各課題評價專家意見。參會單位包括有研億金新材料有限公司、沈陽K8凯发加工有限公司、東北大學、貴研鉑業股份有限公司、中南大學、北京工業大學、中國科學院金屬研究所、北京科技大學、西北工業大學、國標(北京)檢驗認證有限公司共10家產學研單位。參會人員包括項目責任專家、科技部高技術研究發展中心領導、項目負責人、各課題負責人、項目骨干、科研管理員等項目相關人員40余人。
會議由項目負責人有研億金董事長王興權教授致歡迎辭并介紹了項目整體情況,科技部高技術研究發展中心領導、項目責任專家分別講話,會上成立了課題績效評價專家組,各課題負責人分別進行了課題績效自評價匯報,評審專家提問并打分,最終由專家組長張龍教授宣讀了課題自評價打分結果及意見。各課題完成了課題任務書中要求的課題目標和考核指標,取得了重要成果,完成了成果應用示范推廣,并建成產業化示范線,一體化組織實施及管理運行情況良好,人才培養、資金使用情況滿足要求,項目課題考核合格。項目責任專家秦高梧、孫寶德教授充分肯定了項目取得的成果,對項目各課題中存在的問題進行了點評和指導,并預祝接下來的項目總體驗收取得圓滿成功。
本項目的實施對我國高端半導體新興產業快速發展起到了重要的戰略意義,對國產高品質、大規格稀有稀貴金屬濺射靶材發展起到了重要推動作用,項目通過研究超高純稀有稀貴金屬制備及強塑性變形過程組織與缺陷形成機理、演變規律及細晶化調控原理、鐵磁性金屬多因子條件下磁性能協調機理、異質金屬大面積焊接界面行為與微觀應力調控機理、稀有稀貴金屬制備加工工藝-基體組織一結構-缺陷-性能之間的內在關系及控制基礎理論等科學問題,突破稀有稀貴金屬靶材“大規格、高純化、細晶化、均質化、高精度、高可靠”等制備過程中11項關鍵技術,最終形成具有指導意義稀有稀貴金屬靶材微觀組織異質界面-綜合性能的協同調控理論,開發出7種達到國際先進水平的典型大規格超高純稀有稀貴金屬鐵磁性靶材、鉑族單質金屬靶材、銅旋轉靶材及其制備技術,并建成產業化示范線,填補我國技術和產品空白。項目成果在滿足我國深納米半導體芯片、新型磁記錄元器件、高代線TFT平面顯示器制造的迫切需求和產生巨大經濟效益的同時,使傳統稀有稀貴金屬產業向環境友好型高科技領域拓展,提升我國半導體產業整體競爭力,實現我國高端半導體用新材料產業技術水平由跟跑向并行轉變,擺脫國家安全戰略領域對國外產品的依賴。
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